11.11.2022, 13:20
Hydrophil und hydrophob sind Begriffe, die durchaus auch in der Elektronik vorkommen, genauer gesagt, der Halbleiter- Technologie.
Ein nasschemischer Bearbeitungsschritt bei der Prozessierung von Wafern hinterlässt eine hydrophile Oberfläche, wenn er zum Beispiel dazu führt, das auf besagtem Wafer eine dickere Oxidschicht (native Oxide) aufwächst. Sehr schön sichtbar, durch einen aufgebrachten Wassertropfen. Dieser wird quasi von der Oberfläche "verschlungen".
Behandelt man eine Waferoberfläche aber mit einem DHF- Gemisch (verdünnte Fluor- Wasserstoffsäure), dann wir das Native Oxide entfernt, die Oberfläche reagiert hydrophob: Der oben erwähnte Wassertropfen bleibt in Tropfenform auf dem Wafer liegen, mit sehr hohem Randwinkel. Kippt man den Wafer, rollt der Tropfen einfach ab. Kann man sich ähnlich wie einen Tropfen Quecksilber vorstellen. Das noch zur Begriffsklärung...
Grüße, Rainer
Ein nasschemischer Bearbeitungsschritt bei der Prozessierung von Wafern hinterlässt eine hydrophile Oberfläche, wenn er zum Beispiel dazu führt, das auf besagtem Wafer eine dickere Oxidschicht (native Oxide) aufwächst. Sehr schön sichtbar, durch einen aufgebrachten Wassertropfen. Dieser wird quasi von der Oberfläche "verschlungen".
Behandelt man eine Waferoberfläche aber mit einem DHF- Gemisch (verdünnte Fluor- Wasserstoffsäure), dann wir das Native Oxide entfernt, die Oberfläche reagiert hydrophob: Der oben erwähnte Wassertropfen bleibt in Tropfenform auf dem Wafer liegen, mit sehr hohem Randwinkel. Kippt man den Wafer, rollt der Tropfen einfach ab. Kann man sich ähnlich wie einen Tropfen Quecksilber vorstellen. Das noch zur Begriffsklärung...
Grüße, Rainer